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半导体晶圆清洗中超纯水的制备流程与要点

时间：2026-09-20

　　半导体是指在特定温度和电压下，其电导率介于导体和绝缘体之间的材料，具有多种独特的物理和电学性质。半导体的电导率与其掺杂的杂质种类、浓度和半导体晶体结构有关，在电子器件、光电器件、传感器等领域有广泛的应用。例如，在计算机中，半导体芯片会用于存储数据和执行逻辑操作;在光电器件中，半导体光电二极管可以将光能转换为电能，应用于太阳能电池、激光器、LED等器件中。

　　半导体材料清洗会使用到超纯水，这是为了充分保障半导体的物理化学性质稳定，不受颗粒物、金属氧化物、灰尘污垢等杂质的污染，以此来维持其良好的功能。超纯水纯度高，基本不含有除氢原子和氧原子之外的任何细菌、有机物、无机盐等杂质，因而是清洗半导体的理想工具。

　　采用EDI超纯水设备可以生产出质量可靠稳定的超纯水，该设备主要采用了反渗透+EDI+抛光混床技术，能根据不同用户对水质的不同需求定制设计。它具有出水水质稳定、操作简便、运行成本低、绿色环保、易于维护等优点，具体表现为：

　　1.采用了独有的靶向离子交换系统，可以针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除;

　　2.膜系统能够实现带电荷运行，离子迁移速度更快，脱盐效果更优;

　　3.采用了PLC智能化程序，能灵活进行操作，人力投入节约;

　　4.系统运行无污染物析出，系统内无死水;

　　5.采用了新型均粒树脂包填充，高频电子极板形成强电场运行环境，大幅提高脱盐率。

　　超纯水设备能够将水中含有的微生物、金属离子、矿物质等成分充分去除，确保生产出的超纯水纯度，用于清洗半导体不会造成污染。

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